内蒙古自治区新技术产业化应用指导目录（2022本）

序号

技术名称

技术简介

技术参数

一、绿色农畜产品加工(5)

乳品纳滤分离浓缩技术

通过引入纳滤膜技术，分离出牛奶中的酪蛋白、乳清蛋白、乳铁蛋白、乳钙、乳糖和水等，并且重新整合成新产品。

一价离子截留率40%～55%，二价离子截留率94.2%～95.5%，蛋白截留率为95%～99.7%，乳糖截留率90%以上。

羊毛织物生物法功能化整理技术

该技术以生物技术为手段，综合利用多种生物酶制剂的协同作用实现了羊毛制品的生物法防缩、防霉和抗菌整理，建立了基于多酶协同作用的羊毛制品生物法功能整理关键技术。

1.整理后羊毛织物强力保留率≥85%；

2.毛织物经、纬向毡缩率＜3%，面积毡缩率＜6%；

3.毛织物抗菌率≥90%；

4.耐洗涤次数≥20次。

玉米淀粉及其深加工产品的高效生物制造技术

创建生物浸泡与酶促分离相协同的玉米淀粉高效制备关键技术，突破传统化学浸泡与机械分离极限；研发高浓酶解与智能分离相结合的淀粉糖高效生产关键技术，及酶促降黏均匀液化、高效降支精准糖化的核心技术；创建代谢优化和抗逆强化相适应的高浓产物高效发酵关键技术，开发出柠檬酸高浓清液发酵、谷氨酸高浓流加发酵等新工艺。

1.淀粉提取率提高到95.7%；

2.淀粉液化浓度45%，水耗1.15t/t；

3.提高柠檬酸、谷氨酸生产强度，产物浓度分别为205g/L、210g/L,糖酸转化率70.0%。

全降解生物材料技术

利用α淀粉高温糊化铰链原理，通过特制的定型模具，在高温的状态下使半糊化淀粉等共混原料快速的高温糊化在模腔内高压状态下快速发泡膨胀定型。取代以石油为原料的塑料制品实现淀粉产品的全降解及农作物的循环利用。

所用原料99.4%为有机物，120天内降解程度91.1%。

离子交换稀汁脱钙技术

将含有钙盐的稀汁均匀泵入离子交换柱，用树脂上的钠离子置换糖汁的钙离子(脱钙)，得到含有微量钙盐的稀汁。然后将置换到树脂上的钙离子用NaOH再生。

稀汁钙盐降到0.002gCaO/100g以下。

二、现代装备制造(14)

钙钛矿电池生产技术

钙钛矿太阳能电池是指采用有机-无机复合金属卤化钙钛矿材料为光敏剂的一类新型固态薄膜太阳能电池。钙钛矿太阳能电池作为第三代太阳能电池，具有高转换效率、低成本等突出优势，近年成为了欧美日等国光伏研究领域的重要方向。

钙钛矿组件连续工作至少1000小时不衰减，组件量产效率达到18%。

车用高功率燃料电池电堆技术

该技术突破电堆核心技术，形成面向批量生产的高功率电堆制造方法，建立电堆及关键零部件的匹配测试、集成测试及试验验证体系。

燃料电池电堆额定功率：≥100kW；体积功率密度：≥3.5kW/L；冷启动温度：-30℃；耐久性：10000h(NEDC工况)。

高容量固态储氢技术

以高容量镁基固态储氢材料作为储氢介质，并设计装填镁合金储氢材料的压力容器、充放氢控制与计量模块、安全联锁模块等开发出可搬运的灵便型镁基固态储氢系统，有效储氢量达到6kg，能够实现氢气的快速充装与释放，并能够在常温常压下的安全地储存与运输，从而解决现有氢气钢瓶储氢量小、安全系数低、储运不方便等缺点。

系统的储氢容量达到6kg，吸放氢操作氢压力不高于1.6MPa，持续稳定吸放氢流量达到10L/s以上。

锂离子超级电容器技术

通过不对称电化学储能混合器件设计，将锂离子电池元素和超级电容器元素复合在同一个储能器件中，开发出能量密度高于超级电容器、功率密度和循环性能优于锂离子二次电池的储能器件。

混合储能器件达到20Wh/kg的能量密度以及2kW/kg的功率密度。

聚合物电解质材料与固态电池关键生产技术

该技术针对传统聚环氧乙烷基聚合物固态电池存在高电压稳定性差、循环寿命短等问题，利用机器学习技术，构建高性能聚合物电解质数据库，基于大数据分析，筛选优化聚合物结构、电解质组成，发展耐高电压聚合物固体电解质及固态电池。

聚合物固体电解质室温离子电导率大于10^-4S cm^-1，电化学窗口大于4.5V，杨氏模量大于2GPa，拉伸强度达到25MPa；固态电池单体能量密度达到350Wh/kg，室温下0.2C以上倍率充放电循环≥500次，容量保持率≥80%；固态电池单体容量≥40Ah，热失控温度≥200℃。

重载动力换挡变速箱生产技术

通过优化动力换挡传动方案、传动摩擦件工艺、关键零部件加工制作工艺，实现配套动力550～580马力以上发动机，动力换挡箱承载200马力，实现传动系统扭力储备30%，行驶档位三级且能自动换挡。

1.采用动力换挡；

2.传递功率≥80kW；

3.田间模式：一档作业速7km/h，二档作业速度8km/h；运输模式：一档作业速度14.5km/h，二档作业速度27.4km/h。

离合器齿毂旋挤复合成形工艺技术

通过建立相关精度控制策略、工艺设计规范，促进离合器齿毂高精度旋挤复合成形工艺的推广与发展，通过旋挤复合成形生产高精度离合器齿毂产品。

所试制1个规格的离合器齿毂零件内外齿直径公差不大于±0.3mm，该指标与国内外同类产品精度相当。

全铝车身制造技术

选择封闭截面铝合金挤出型材和热塑性玻纤增强复合材料分别作为车身骨架和覆盖件材料，利用“挤/弯/焊-型/粘/喷-装”一体化短流程工艺，建成多车型柔性焊装生产线，实现短流程、低材耗、低排放和智能化生产。

车身扭转刚度达26967Nm/°，车身全尺寸焊接质量合格率92%。

绿色锅炉制备技术

通过空气分级，在双炉膛锅炉内完成煤炭固、气两相转化与燃烧，解决煤炭中的炭、灰中温安全分离难题，实现煤炭充分燃烧和炉内固硫、抑氮的深度协同过程，实现了燃煤锅炉超高能效、系统节能与超低排放的协同兼顾。

锅炉热效率＞92%、烟气排放超净尘＜5mg/m³、硫＜35mg/m³、氮＜50mg/m³、灰渣含碳量＜0.5%。

绿色高效大载荷轴承钢球用钢关键技术

该技术打破传统工艺束缚，替代传统模铸工艺制造大载荷轴承钢球用钢，依托高刚度KOCKS轧机、智能燃烧加热系统等世界领先的装备及借助MARC、Deform仿真模拟计算、Gleeble热力模拟等研究手段，开展全流程工艺研究创新，解决连铸工艺高洁净度、高均匀性控制的科学技术问题以满足大载荷轴承钢球用钢的物理性能及服役性能需求，应用于风电、大型挖掘机等工程装备。

成材率提升约13%；效率提升30%；突破连铸工艺高端轴承钢球用钢的组织均匀性控制。

新能源汽车用高端硅钢产品创新与应用技术

该技术产品大批量应用于我国高端新能源汽车驱动电机领域，解决了产品性能指标相互制约、薄规格高硅铝成分体系产品制造、涂层环保化功能化以及应用体系空白等技术难题，实现了新能源汽车驱动电机用高端无取向硅钢批量、稳定生产和应用。

0.5mm厚度下的铁损P10/50和P15/50分别为3.0w/kg以下和5.5w/kg以下；屈服强度σs不小于220MPa。

环冷机密封技术

以高刚度模块化回转体单元为核心运行部件，以水作为密封介质，台车栏板及环冷罩采用全密封全保温技术，并配备完善的运行安全检测及控制系统，解决环冷机运行跑偏及密封差造成的漏风漏料的问题

设备系统漏风率≤5%，冷却风机总装机容量降低50%以上，余热利用效率提高10%以上。

棒线材高效低成本控轧控冷技术

该技术以气雾冷却为主要控冷单元，汽化蒸发吸热和强制换热机理相结合，控冷技术覆盖轧钢全流程，包括中轧机组间冷却、轧后阶梯型分段冷却、过程返温、冷床控温等冷却关键点控制，实现降温－返温－等温循环型冷却路径调控，精确控制钢筋组织均匀性和珠光体相变，优化氧化铁皮结构，有效控制纳米级析出物弥散析出效果，获得相变强化和析出强化效果。

1.综合能耗降低：4kgce/吨钢；

2.吨钢节水：13.5%；

三、新型化工(10)

低阶煤分质转化及高效清洁利用技术

煤热解提质采用外热式煤气热载体新型炉型及工艺生产富氢煤气、煤焦油和清洁煤。清洁煤生产采用两级冷却技术，通过高温区余热回收和低温区低水分冷却工艺，余热最大程度的回收利用。煤焦油通过分质精准加氢工艺技术，实现产品多元化，提高产品附加值。

1.实现3～100mm宽粒径原煤综合热解；吨煤热解废水产生量降低至150kg/吨煤以下，处理后废水达到焦化工业废水间接排放标准，回收利用率100%。

2.热解煤气CO、CO₂、CH₄有效气体成分＞70%，且氢气含量不低于40%。

3.煤热解及产业链三废分质综合处理关键技术，实现废水、废气、废渣资源化利用。

第三代甲醇制烯烃(DMTO-Ⅲ)技术

DMTO-Ⅲ技术是一个包括新型高效流化床反应器、新一代催化剂等在内的完整技术方案。基于新一代甲醇制烯烃催化剂，开发了甲醇处理量大、副反应少、可灵活实现催化剂运行窗口优化的高效流化床反应器，完成了千吨级中试试验。

DMTO-Ⅲ技术工业装置的单位烯烃成本较现有的DMTO装置下降10%左右，单位烯烃产能的能耗可明显下降。

合成气一步法制烯烃

该技术采用复合催化剂，实现合成气高选择性一步法制烯烃，有效解决费托合成法低碳烯烃选择性不高问题。

甲烷选择性可低至5%，低碳烯烃选择性可达60%，总烯烃选择性高达80%以上。

新型连续流微通道反应技术

以新型连续流微通道反应系统为核心，可应用于多系列精细化学品的连续高效合成和规模化生产，尤其是放热剧烈、反应物或产物不稳定、物料配比严格、高温高压等危险化学反应。

反应器总时空转化率STC≥20mol·m^-3·h^-1；反应器温度T适用范围-100℃≤T≤350℃；反应器压力P适用范围≤10MPa；反应器单套处理量≥2000t/a。

防脱氯连续加氢技术

结合不同催化剂的特性，采用磁分离、膜分离等技术实现万吨级邻苯二胺、2,5-二氯苯胺连续化生产，具有工艺清洁，安全风险小，自动化程度高，能耗低，设备腐蚀程度低，产品质量稳定等特点。

硝基物加氢原料转化率大于99.95%，选择性大于99%，其中氯代硝基苯加氢脱氯副反应产物选择性小于0.1%，吨产品的催化剂消耗小于1kg，产品含量大于99.95%；生产1t邻苯二胺产生的废水量较硫化碱还原法减少95%；连续化加氢反应风险为“1级”，氢气消耗下降15%。

双癸二酸酯合成技术

采用光稳定剂、叔丁基过氧化氢为原料，正辛烷为溶剂，在催化剂的作用下进行烷氧化反应，反应合格后，经过脱色、脱溶剂、包装工序得到产品。

1.外观：浅黄色～黄色液体；

2.加热减量：1.0%max；

3.灰分：0.10%max；

4.色度：CIE-Lab L*，98.0～100；CIE-Lab a*，-2.0～0.0；CIE-Lab b*，0.0～6.0；

5.UV-123单体含量：65.0%min；

6.低聚物含量：20.0%max.

离子液体催化CO₂转化制备碳酸酯/乙二醇技术

该技术采用CO₂和环氧乙烷为原料，在离子液体催化下合成高品质碳酸酯产品(碳酸乙烯酯、碳酸二甲酯、碳酸二乙酯、碳酸甲乙酯)和乙二醇，用于动力电池电解液溶剂以及聚碳酸酯和聚酯原料，为CO₂大规模高值化利用提供了反应条件更温和、原子经济性100%、环境效益更突出的新工艺、新过程，具有原料适用性强、能耗低、无“三废”排放等特点。

环氧乙烷转化率≥99.4%，碳酸二甲酯和乙二醇选择性均≥99%；

碳酸二甲酯产品质量达到国标电池级标准，乙二醇产品质量达到国标聚酯级标准；

能耗较传统工艺降低约30%；

全过程无三废排放。

乙烯羰基合成路线生产MMA技术

该技术利用煤制乙烯为原料，通过氢甲酰化反应得到丙醛，丙醛与甲醛进行缩合反应生成MAL，MAL在列管式固定床反应器中进行空气氧化生成MAA，MAA经分离提纯后与甲醇进行酯化反应制得MMA。

甲基丙烯醛转化率60%～85%，甲基丙烯酸选择性80%～91%。

电子级丁内酯（GBL）生产技术

采用1，4-丁二醇脱氢制γ-丁内酯（GBL）工艺，结合上游高品质1,4-丁二醇，采用高性能分离工艺生产电子级丁内酯。

电子级丁内酯纯度达到99.97%。

二氧化碳重整利用工业废气生物发酵法生产燃料乙醇技术

耦合了甲烷—二氧化碳重整和富一氧化碳合成气生物发酵法制乙醇两个工艺路线，操作条件缓和，发酵时间短，是探索二氧化碳减排和满足燃料乙醇市场供应的创新途径。

对比煤基合成气为原料，全生命周期二氧化碳减排量减少近65%；能源利用效率为66.88%，较尾气发电效率提高15%。

四、新材料(11)

稀土纳米氧化铁制备技术

通过稀土元素改质纳米氧化铁结构赋予纳米氧化铁涂层更高的耐蚀性能，以使该复合材料具有优异的阻隔效应、自我修复效应和电化学屏蔽效应等功能，用于显著提升涂层的耐蚀性。

纳米材料粒径＜100nm，且具有较高的化学稳定性；

制备出的稀土纳米氧化铁具有较高的均匀性和分散性；

纳米氧化铁新材料具有一定功能性，如化学缓冲性能、电化学稳定性和吸附性能等。

镧钇合金制备技术

以氟化锂、氟化镧和氟化钇的混合物作为电解质，制备得到高纯度镧钇合金。

镧钇合金REM≥99.5%；

钇含量：4%～10%；

其余非稀土杂质＜0.3%，余量为镧，碳含量小于铁含量。

稀土基高温烟气脱硝催化剂

将现有的常规稀土基烟气脱硝催化剂进行改进，通过调整活性组分与过渡金属助剂配比与分散度，引入少量其他微量元素。使其在420℃～500℃具有较好的活性。将催化剂载体与活性组分、助剂等混炼成均匀且具有一定塑性的泥料，采用一体挤出成型技术，经过干燥烧成等工序，生产制得蜂窝式稀土基烟气脱硝催化剂。

在420℃～500℃到温度区间内，脱硝效率≥85%。使用寿命大于3年。产品机械强度：轴向≥2.5MPa，径向≥0.6MPa。

石墨烯氧化物浆料规模化生产技术

经过大规模改进的Hummers氧化方法，工艺流程高度控制的低温氧化-精细调节中温插层-高温二次氧化-高冷还原-硫酸回收过滤-提纯-沉淀过滤-成型-产品。

纯度99.8%；厚度0.8～1.2nm；直径5～20μm；单层率80%；溶剂NMP；浓度5wt%；导热率1200W/m-K。

PPS复合涂料生产技术

以PPS树脂为基体，添加导热填料(例如石墨、炭纤维等)提高其导热性能，通过注塑或挤出工艺，形成换热管材。以聚苯硫醚树脂为基体与多功能填料的复合物生产PPS复合涂料。

1．复合换热管材：①耐腐蚀性，可在170℃时15％的盐酸、45％的硫酸、15％的硝酸和磷酸、5％的氢氟酸介质中长期使用无腐蚀；②最高使用温度240～280℃，长期使用温度200～240℃；③导热系数2～6W/m-K；④最高使用压力1.8MPa，长期使用压力1.2MPa。⑤优良的阻垢性和较好的耐磨性能，比碳钢管的阻垢性能更加优良。⑥抗渗性，换热管内打1.0MPa水压，保压24小时，无渗漏，表压没有变化。⑦质轻，比重1.4～1.85。

2.PPS涂料：最高使用温度240～280℃，长期使用温度200～240℃。

特种多材多层高分子复合防水卷材生产技术

以HDPE树脂为底膜，单层涂覆热熔压敏性自粘胶膜层，搭接弹性涂层制成复合防水卷材，通过改良底膜配方，使底膜兼具高强度抗冲击性和优良的胶附着性；通过改良自粘胶配方，解决HDPE非极性材料对压敏粘合性、粘度强度要求较高的问题；通过改良弹性涂层材料配方，实现涂层薄膜既连续又能形成凹凸微孔结构，可与混凝土牢固结合。通过改进卷材工业化复合成型生产工艺，实现HDPE复合成型连续化生产。

膜断裂伸长率≥500%；

断裂拉伸强度≥18MPa；

钉杆撕裂强度500N；

拉力≥700N/50mm；

抗穿刺强度≥360N；

尺寸变化率(80℃，24h)≤±1.2%；

与后浇混凝土剥离强度(无处理)≥2.5N/mm。

低介电长玻纤增强聚丙烯材料制备技术

该技术主要通过对玻璃纤维进行改性浆料表面修饰、辐照处理、交联反应、LFT成型等工艺制备而成

密度：1.124g/cm3；热变形温度：151℃；介电常数(Dk)：2.54；介电损耗(Df)：0.0015；耐候(2000h冲击拉伸强度保留率)：95.1%。

聚酰亚胺薄膜制备技术

该技术将颜料、遮蔽剂、溶剂和分散剂混合研磨分散，然后将其加入聚酰胺酸树脂中，搅拌，得到聚酰胺酸树脂，将其流延成膜，经热亚胺化，纵向拉伸、横向拉伸，形成聚酰亚胺薄膜。

热膨胀系数≤20ppm/℃；热收缩率(200℃，2Hr)：纵向≤0.1%，纵向≤0.1%，横向≤0.1%；拉伸强度，纵向≥300MPa，横向≥280MPa；绝缘强度≥280V/μm；透光率≤0.1%(黑膜)。

高性能T700级PAN基碳纤维制备技术

该技术将聚丙烯腈基(PAN)碳纤维原丝进行预氧化—碳化石墨化—表面处理上浆等步骤生成碳纤维，制备高性能T700级PAN基碳纤维。

产品拉伸强度≥4.9GPa；

拉伸膜量≥200GPa；

断裂伸长率≥1.8%

新型环保抑尘剂生产技术

开发出集吸湿性、保水性、捕尘性、抗冻性、硬化平整性等综合性能于一体的高效复合型化学抑尘剂，应用于多种场景下的环保抑尘工作，同时着重体现了冬季的抑尘效果。

1.抑尘周期可达7～40天不等，抑尘周期内应用场所附近空间粉尘浓度均低于国家安全环保标准规定的9.8mg/m³；

2.抑尘剂溶液的冰点-30℃，解决冬季抑尘问题；

3.抑尘剂与细粒粉尘相互作用结合形成厚度约为0.5cm～1.5cm的保护壳或致密的、韧性较好的厚度约为10μm的黏性保护膜。

动力电池材料回收利用技术

该技术以低成本、简单工艺回收报废三元电池，得到高纯度的Ni²⁺、Co²⁺、Mn²⁺溶液，通过滴定测试其中Ni²⁺、Co²⁺、Mn²⁺含量，根据三元前驱体制备需要可配制成NCM111、NCM523、NCM622、NCM811等前驱体溶液。同时回收其中的锂，制备电池级的碳酸锂。

镍钴锰回收率＞95%，锂回收率＞85%，碳酸锂纯度＞99%，三元前驱体杂质含量Fe、Cu＜0.005%、Ca、Mg、Na＜0.03%。

五、生物医药(7)

减糖代糖类产品合成技术

采用绿色生物发酵合成甘露醇、赤藓糖醇、木糖醇和异麦芽酮糖。

赤藓糖醇的发酵浓度达到240克/升；甘露醇一步发酵的浓度达到200克/升；阿洛酮糖达到300克/升；异麦芽酮糖达到270克/升。

氨基酸母液资源化利用技术

利用耐高盐度的尼泊尔葡萄球菌对氨基酸母液有机质进行二次降解提取菌体蛋白；通过提高料液浓缩倍数，并进行离心分离获得硫酸铵产品。

综合能耗节约30%，二氧化碳排放量减少30%，从而有效降低能耗和碳排放量。

新型生物酶制剂产品制备技术

建立毕赤酵母ARTP的诱变和高通量筛选方法，筛选宿主底盘菌，采用分段控制工艺来实现酶制剂的高效表达。

1.植酸酶发酵液酶活力28000U/mL，与原始APPA相比，突变后的植酸酶比活提高幅度为14％-66％；

2.重组耐热木聚糖酶基因tx经过优化后酶活力17320U/mL，活性提高6倍；

3.甘露聚糖酶发酵液的酶活性为34000U/mL，相比原始甘露聚糖酶活性提高60%；

4.葡萄糖氧化酶发酵时间小于180小时/批，相比传统的200小时/批缩短10%。

动物病毒疫苗悬浮培养技术

该技术针对不同动物病毒悬浮培养技术，利用生物反应器实现病毒细胞悬浮培养工艺的放大生产，完成悬浮培养工艺控制参数的成套技术定型。

培养规模达550L，悬浮培养细胞密度不低于2.5×106cells/mL，微载体培养细胞密度不低于1.0×107cells/mL

1.1类抗肿瘤新药氟马替尼中间体开发技术

该技术以终产物抗肿瘤新药—甲磺酸氟马替尼结构为基础，结合特定分子靶向作用位点的治疗机制，对分子结构进行优化，设计合成氟马替尼配套的中间体，并形成该中间体标准化生产工艺及先进生产技术体系与规模化工艺体系。

1.减少了反应步骤，且所用原料易得，使成本降为原来的52%；

2.反应收率提高40%；

3.产物纯度大于99%。

咪达那新及片合成技术

该技术利用微粉化技术控制原料的粒度，对咪达那新的工艺路线进行优化，通过降温和搅拌速度，对原料粒度进行控制，实现药物粒度的均匀性和溶出度以达到原研药物的水平。

咪达那新炽灼残渣的限度控制在0.2%以内，硫酸盐的限度控制在0.04%，重金属的限度为20ppm，总杂质控制在1.0%以内，单个杂质控制在0.1%以内，合成咪达那新的纯度达到99.8%以上，总收率达到50%以上。

动物血液深加工产品开发及高值化利用技术

利用现代生物分离和加工等技术对畜禽屠宰副产品血液进行深加工，开发血浆蛋白粉、血红蛋白肽、免疫球蛋白、血红素肽铁等。

1.血浆蛋白粉蛋白质含量在75%以上，各项指标达到或超过国际同类血浆蛋白粉的指标；

2.血红蛋白肽产品中分子量低于1000的肽达到80%以上；

3.免疫球蛋白产品中免疫球蛋白(IgG)含量达到45%；

4.血红素肽铁中铁含量在5.5%以上。

六、电子信息制造(11)

碳化硅单晶衬底合成技术

该技术采用国内首创高纯碳化硅粉料合成工艺技术，研究了合成碳化硅粉料的物理化学机理、纯度、合成温度等参数对碳化硅粉料合成粒度、纯度及晶型结构的影响，掌握了合成粉料工艺，用该方法合成的碳化硅粉料粒度可控，纯度大于99.999%。

1. 4英寸高纯半绝缘碳化硅双面抛光片：微管密度≤2m²，电阻率＞108Ω·cm，总厚度偏差≤l0µm/弯曲度≤25µm/翘曲度／≤35µm。

2. 6英寸高纯半绝缘碳化硅双面抛光片：微管密度＜2m²，电阻率＞105Ω·cm,总厚度偏差≤15µm/局部平整度≤5µm/弯曲度≤40µm/翘曲度≤60µm。

3. 6英寸N型碳化硅双面抛光片：微管密度＜2m²,电阻率0.015Ω·cm～0.025Ω·cm，总厚度偏差≤15µm/局部平整度三5µm/弯曲度≤40µm/翘曲度≤60µm。

碳化硅外延片制造技术

该技术采用化学气相沉积(CVD)方法，通过优化设备反应腔内的石墨件结构、精准控制外延生长过程中的关键工艺参数，从而提高衬底基面位错的转化效率及外延片浓度和厚度均匀性，降低外延片表面缺陷，实现高质量碳化硅外延片的批量生产。

1.表面致命缺陷密度＜0.3cm^-2；

2.外延片内掺杂浓度均匀性＜4%；

3.表面大于0.3µm颗粒≤30个；

4.基面位错密度(BPD)<0.lcm^-2；

5.厚度均匀性＜1.5%。

GaN倒装芯片封装技术

该技术以双键及苯基有机硅氧烷为主体、荧光粉预掺的交联度可控的固态胶膜封装材料，用于GaN倒装芯片CSP的制程。

凝胶化时间在150℃控制在40～45s、固化后强度达ShoreD 50～70、拉伸强度7.1～8.5MPa，断裂伸长率在100～130%之间、粘结力(对铝)达到7.8～8.5Mpa；折光指数在1.51～1.54、芯片上方封装层厚度可达70～200μm(±15μm)；芯片四壁封装层厚度可达30～150um(±10μm)；色温为3000K、5500K和6000K三挡，色温偏差100K；光效达901m/W。

基于硅/玻璃键合的MEMS体硅工艺技术

该工艺采用硅作为结构层材料，玻璃作为支撑层材料，可用于MEMS陀螺、加速度计芯片的加工及其他硅基微细机构的加工。该工艺的主要特点是采用了硅玻璃键合及DRIE 刻蚀释放等关键技术，具有工艺稳定性和一致性好，寄生电容小的优势。

可加工深宽比大于30：1，刻蚀陡直度优于(90+0.5)，最小线宽2μm的MEMS惯性传感器芯片。

高可靠集成电路塑封技术

该技术采用政变框架与塑封料微观界面、引入应力释放区、增加锁胶孔、提升防氧化过程控制引入等离子表面处理以及优选粘片胶和塑封料提升原材料匹配性等方法，增强塑封料与框架界面的结合力，降低应力集中区域的应力值，提升湿气进入塑封体内的难度，拓宽塑封电子产品的工作温度范围。该技术可实现传统商业塑封器件的工作温度范围0℃~70℃提升到-55℃~125℃，吸湿敏感度从Leve13提升到Level1。

吸湿敏感度：Leve11；工作温度范围：-55℃~125℃；温度循环：-55℃~150℃，500次；HAST试验：130℃，96h；高温存储：150℃，1000h。

高效节能SiC功率器件及模块关键技术

以晶圆为材料，通过结构外延生长、干法刻蚀、制作碳膜、高温氧化等工艺来制备SiC芯片。通过优化芯片结构，增强电流密度，形成高可靠性栅介质；采用超声波金属焊接工艺和粗铜线键合工艺，提高端子焊点抗疲劳寿命和连接可靠性；通过端子键合、双面散热、纳米银烧结等互连技术实现SiC一体化水冷封装。

SiC MOSFET芯片：击穿电压≥1200V、导通电阻≤25mΩ，最高工作结温≥200℃。

SiC功率模块：击穿电压≥1200V、导通电流≥400A， 最高工作结温≥200℃。

代谢质谱芯片开发技术

构建贵金属合金质谱芯片，提取临床样本的代谢指纹图谱，结合机器学习，筛选、鉴定并定量分析早期慢性阻塞性肺疾病与对照组之间的差异性代谢物，优化代谢物组合、构建诊断模型，通过检测代谢物监测病情变化，及时准确、便捷地评估患者病情。

检测灵敏度提升100～1000倍，可同时检测100个以上样本，常温保存，可存储30天以上。消耗样品体积为0.1～10微升，每年样本检测通量达到百万级别。

77GHz毫米波车载雷达传感器芯片制造技术

用3T4R架构，单片集成FMCW波形产生电路、ADC、LVDS接口，满足LRR/MRR/SRR应用需求

频率范围：76～81GHz；发射通道：3TX；发射功率：12dBm；发射相移：0/180°；接收通道：4TX；接收噪声系数：最小11dB；接收输入P-1：≥10dBm；ADC位数：12bits(含抽取滤波和LVDS输出)；最高扫频速度：>200MHz/us；相噪：～85dBc/Hz@1MHz(77GHz)；功耗：1.5W(typical)；芯片工艺：65nmCMOS；封装尺寸：10mm*10mm(单芯片)/12mm*24mm(单芯片+封装天线)；温度范围：-45～+125°C；支持多芯片级联。

砷化铟镓短波红外探测器制造技术

该探测器由砷化铟镓探测器阵列芯片读出电路芯片、金属管壳、TEC致冷器、温度传感器、吸气剂、窗口片等组成，目标反射或辐射由探测器光学窗口进入探测器组件，其反射或辐射信号由砷化铟镓探测器阵列芯片上的光敏元阵列的砷化铟镓吸收层所吸收，并将其转变为电信号。

面阵规模：320×256~1280×1024：像元尺寸：15μm、10μm；工作波段：0.9μm~1.7μm；探测率：D*>5×10¹²cm·Hz^1/2/W；封装形式：真空封装；工作温度：室温工作。

自主可控可编程逻辑控制器(PLC)开发技术

该产品将背板总线、冗余通讯口、运控、PLC功能中断等一系列周边功能封装到同一SOC芯片内，可有效支撑高效实时处理及高速通讯，开发了适配该芯片的应用软件，解决了从芯片到底层源码级的国产化。

1.单套系统物理IO数不少于1万点；

2.国产化率不低于95%；软件100%自主可控；最小控制周期不大于10ms；支持双机热备冗余切换周期不大于20ms；

3.支持不少于100个远程IO单元输入端到输出端相应周期不大于10ms；

4.支持对整机功耗、I/O功耗、温度、CPU使用等不少于10种状态的实时监测。

56Gbps高速连接器生产技术

该技术采用是差分信号的传输原理，由两根信号线组成，两根信号线上传输一对幅值相等、符号相反的信号。在传输时，传输线上感应的干扰电压极为接近，在终端上通过一个比较器来过滤掉干扰信号，依靠此抗干扰原理。

1.基本性能：载流：0.5A/针；工作额定电压：50VAC；绝缘电阻：≥1000 MΩ；介质耐电压：250V。

2.机械性能：机械寿命：250次；正弦振动：147m/s^2；随机振动：功率谱密度为0.02G^2/Hz总加速度均方根值5.2G；冲击：30G。

3.环境性能：工作温度：-55℃～+105℃。

4.高速性能：传输速率：56Gbps；特性阻抗：92±8Ω；插入损耗：0～28GHz，不小于-3dB；回波损耗：0～28GHz，不大于-10dB；串扰：0～28GHz，不大于-30dB；误码率：小于10-12；差分对内时延差：0～28GHz，不大于2ps。